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H04R31/00专用于制造传感器或其所用振膜的设备或方法（专用于制造微型结构的装置或系统的方法或设备，例如与电装置结合入B81C）

主分类

A 人类生活必需

B 作业;运输

C 化学;冶金

D 纺织;造纸

E 固定建筑物

F 机械工程;照明;加热;武器;爆破

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