G03摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕
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G03F图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备(照相排版装置入B41B;为摄影用的感光材料或处理入G03C;电记录、感光层或处理入G03G)
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G03F1/00用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备〔3,2012.01〕
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G03F3/00分色;色调值的校正(一般照相复制设备入G03B)
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G03F5/00网屏印刷法;其所用网屏
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G03F7/00图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备(用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置,例如,B44C,H01L,例如,H01L 21/00,H05K)〔3,5〕
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G03F9/00原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位,例如自动地(G03F 7/22优先;照相蒙片的制备入G03F 1/00;在复制用的照相印片设备中的入G03B 27/00)〔4〕
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