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G01R31/00电性能的测试装置;电故障的探测装置;以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置(在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66;线路传输系统的测试入H04B 3/46) 

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