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G01Q80/00不同于SPM的扫描探针技术的应用(微观结构的制造或处理入B81C;纳米结构的制造或处理入B82B 3/00;使用近场交互作用的信息记录或重现入G11B 9/12、G11B 11/24或G11B 13/08) 〔2010.01〕 

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