G01测量;测试
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G01Q扫描探针技术或设备;扫描探针技术的应用,例如,扫描探针显微术[SPM] 〔2010.01〕
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G01Q10/00扫描或定位设备,即主动控制探针的运动或位置的设备 〔2010.01〕
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G01Q20/00监测探针的运动或位置〔2010.01〕
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G01Q30/00用于辅助或改进扫描探针技术或设备的辅助手段,例如显示或数据处理装置〔2010.01〕
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G01Q40/00校准,例如探针的 〔2010.01〕
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G01Q60/00特殊类型的SPM [扫描探针显微术]或其设备;其基本组成 〔2010.01〕
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G01Q70/00SPM探针的一般方面,其制造或有关的使用仪器,它们不专门适用于包括在大组G01Q 60/00中的单独的SPM技术 〔2010.01〕
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G01Q80/00不同于SPM的扫描探针技术的应用(微观结构的制造或处理入B81C;纳米结构的制造或处理入B82B 3/00;使用近场交互作用的信息记录或重现入G11B 9/12、G11B 11/24或G11B 13/08) 〔2010.01〕
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G01Q90/00其他类目不包括的扫描探针技术或设备〔2010.01〕
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