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C23C14/00通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆（附有放电作用物体或材料引入装置的放电管本身入H01J 37/00）〔4〕

主分类

A 人类生活必需

B 作业;运输

C 化学;冶金

D 纺织;造纸

E 固定建筑物

F 机械工程;照明;加热;武器;爆破

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