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B81C专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备(制造微胶囊或微球入B01J 13/02;专门适用于制造或处理压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件的方法或设备本身入H01L 41/22)〔7〕 

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